半导体
特种气体行业解决方案方案概述
在半导体制造工艺中，特种气体的纯度和稳定性直接影响芯片性能与产品良率。气体输送系统的任何微小泄漏不仅会造成昂贵气体浪费，更可能导致工艺污染、设备损坏甚至安全事故。yaxin868针对半导体特种气体的特殊性质，提供专业的密封性检测方案，确保气体输送系统在全流程中保持零泄漏的完美密封状态。
方案实施
我们针对特种气体系统的关键环节提供全方位检测：
气瓶柜与阀门箱密封检测
采用超高灵敏度氦质谱检漏技术，精准检测气瓶接头、阀门密封面等关键部位，确保源头的绝对密封。
气体分配管路密封验证
对不锈钢EP管、VCR接头等输送管路进行全链路检测，确保气体在输送过程中无任何泄漏风险。
工艺设备接口密封评估
针对刻蚀、CVD等设备的气体接入点进行密封验证，防止接口泄漏导致的工艺参数漂移。
气体控制部件密封检测
对质量流量计（MFC）、压力控制器等精密部件的密封性能进行专业评估，确保控制精度不受泄漏影响。
客户价值
检测精度达10⁻¹² mb·L/s，满足半导体级要求
气体泄漏导致的损耗降低90%以上
因气体污染导致的工艺异常减少95%
检测效率提升5倍，支持产线快速验证
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