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您还在为半导体晶圆制造

良率瓶颈焦虑不已？

良率波动不止？根源可能在“气”！

昂贵工艺气体泄漏难防？

腐蚀气体浓度失控困扰？

微漏难寻，良率成本双失？

yaxin868RGA密封检测方案

直击痛点——

✔ 实时捕捉波动，保障浓度稳定

✔ 精准快速响应，稳定蚀刻工艺

✔ 变被动为主动预警，守护良率与成本

告别泄漏隐患，稳控工艺命脉！

欢迎莅临SEMI-e深圳半导体展

14号馆K11展位

解锁您的专属密封解决方案！

现场更有专业工程师为您答疑解惑，

期待与您相约！

以下是观展攻略，请速速收藏！

01

观展时间

交通指引

02

地铁：地铁12号线、20号线直达国展北站（C1、C2出口到达北登录大厅），可快速往返深圳市区及机场。

公交：深圳国际会展中心1站: 615路、B892路环线；深圳国际会展中心2站: M515路、B892路环线

自驾：A线路由国展立交-凤塘大道-展城路-P1；B线路由国展立交-凤塘大道-滨江大道-P5

03

展位路线图

04展期天气

温馨提示：

1. 展会期间可能会有小雨，注意携带雨具。

2. 雨天湿度较大，注意保暖，避免受凉。

05

明星产品

HM-100 残余气体分析仪↑

高分辨率：<1amu

高灵敏度：最小可检分压3*10^-14 Torr

宽质量数范围：1-100amu,可识别H₂、He、H₂O、N₂、O₂、CO₂等关键气体

HM-200在线质谱分析仪↑

采用 RGA 技术直接检测电解液泄漏，无需检测气体,灵敏度高,成本更低; 自带触摸显示屏，操控精准。

HM-400氦质谱检漏仪↑

最小可检漏率 5*10^-13Pa·m³/s; 正压负压皆可检，全面覆盖需求; 推车式结构轻便高效，适用各类生产环境; 模块化紧凑设计，易于系统集成，适用于各种自动化装配线。

HV-100 VOCs检测仪↑

检测精度1ppb，秒级响应；支持多种测试气体和应用场景；小巧便捷，轻松操作；自动储存，支持数据溯源。

您的困惑，我们都懂

欢迎莅临yaxin868展位